ABT-1000氣浮主軸,10萬(wàn)轉(zhuǎn)半導(dǎo)體晶圓研磨工具
ABT-1000氣浮主軸是一款由日本Nakanishi(中西)公司生產(chǎn)的精密氣動(dòng)主軸。
以下是關(guān)于ABT-1000氣浮主軸的詳細(xì)介紹:
一、主要特點(diǎn)
高速運(yùn)轉(zhuǎn):ABT-1000氣浮主軸的轉(zhuǎn)速高達(dá)100,000轉(zhuǎn)/分鐘,能夠快速完成加工任務(wù),顯著提高生產(chǎn)效率。
高精度加工:主軸跳動(dòng)精度在1μm以內(nèi),確保了加工工件的精度和表面光潔度,滿足高精度加工需求。
長(zhǎng)壽命:采用空氣軸承技術(shù),避免了傳統(tǒng)機(jī)械軸承因摩擦而產(chǎn)生的磨損和失效,從而延長(zhǎng)了主軸的使用壽命。
低噪音:空氣軸承的非接觸式結(jié)構(gòu)減少了機(jī)械摩擦和振動(dòng),降低了加工過(guò)程中的噪音,提供舒適的加工環(huán)境。
環(huán)保節(jié)能:空氣軸承主軸的潤(rùn)滑介質(zhì)為空氣,無(wú)需使用潤(rùn)滑油,減少了環(huán)境污染和能源消耗。
二、應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體晶圓的研磨、切割等工藝中,ABT-1000氣浮主軸能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能,確保晶圓的精度和表面光潔度。
精密機(jī)械加工:可用于高光、銑削、鉆孔等多種精密機(jī)械加工任務(wù),提高加工精度和生產(chǎn)效率。
模具制造:在模具的精密加工中,ABT-1000氣浮主軸同樣能夠提供穩(wěn)定、精確的切削性能,確保模具的精度和壽命。
三、產(chǎn)品參數(shù)
類(lèi)型:氣動(dòng)主軸
外徑:Φ40mm
最高轉(zhuǎn)速:100,000轉(zhuǎn)/分鐘
主軸跳動(dòng)精度:1μm以內(nèi)
輸出功率:88W
夾頭:CHA組(可夾持刀具柄徑范圍為φ0.5~φ4.0mm)
重量:約820g
軸承氣壓:0.55MPa
四、使用注意事項(xiàng)
供氣要求:空氣軸承主軸需要清潔干燥的空氣。在供氣時(shí),需確保氣壓穩(wěn)定且空氣干燥無(wú)雜質(zhì)。
同時(shí),應(yīng)始終向空氣軸承供氣,即使在主軸停止時(shí)也需保持供氣狀態(tài)。
操作規(guī)范:在使用ABT-1000氣浮主軸時(shí),需遵循操作規(guī)范,避免主軸和軸承在無(wú)供氣狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)或更換工具/夾頭。
以防止損壞接觸區(qū)域并妨礙其正常工作。
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